[发明专利]磁检测装置有效
| 申请号： | 201680070678.4 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108369260B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 梅津英治 | 申请（专利权）人： | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09;G01R33/02;H01L43/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种通过在形成于基板的凹部的倾斜侧面形成磁阻效应元件来检测X－Y－Z方向的各个方向的磁的磁检测装置。在Z检测部(10)，在Z检测凹部(11A、11B)的倾斜侧面(13、14)设置有磁阻效应元件(40(R1、R2、R3、R4))，在X检测部(20)，在X检测凹部(21A、21B)的倾斜侧面(23、24)设置有磁阻效应元件(40(R5、R6、R7、R8))，在Y检测部(30)，在Y检测凹部(31A、31B)的倾斜侧面(33、34)设置有磁阻效应元件(40(R9、R10、R11、R12))。各个磁阻效应元件(40)的固定磁性层的固定磁化(P)被决定为实线的箭头所示的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁检测装置，具有：基板，具有凹部；以及磁阻效应元件，设置于上述凹部的倾斜侧面，上述磁检测装置的特征在于，设置有至少两处的Z检测凹部，上述Z检测凹部具有相互对置且随着趋向基板表面而对置间隔逐渐扩大的第1倾斜侧面和第2倾斜侧面，在上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面分别设置有磁阻效应元件，上述磁阻效应元件具有固定磁性层、自由磁性层、以及形成在上述固定磁性层和上述自由磁性层之间的非磁性中间层，关于各个上述磁阻效应元件，上述固定磁性层的固定磁化的方向被设定为沿着上述倾斜侧面、且朝向上述基板的厚度方向倾斜，上述磁阻效应元件中的、上述固定磁化的方向在上述基板的板厚方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路，利用上述电桥电路检测上述基板的板厚方向即Z方向的磁。
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