[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法和微机械结构元件有效
| 申请号： | 201680071569.4 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN108367911B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | P·卡佩;M·阿梅托沃布拉;J·阿姆托尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件周围环境的进入开口，其中，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在第四方法步骤中，实施衬底或罩的热处理以减小在衬底或罩中的温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 结构 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.用于制造微机械结构元件(1)的方法，该微机械结构元件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)中或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械结构元件(1)的周围环境(9)的进入开口(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，设定在所述第一空穴(5)中的所述第一压力和/或所述第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)的或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，在时间上在所述第三方法步骤(103)之前和/或在时间上在所述第三方法步骤期间实施的第四方法步骤(104)中，实施所述衬底(3)或所述罩(7)的热处理以减小在所述衬底(3)或所述罩(7)中的温度梯度。
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