[发明专利]光电倍增器及其制作方法有效
| 申请号： | 201680071671.4 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108369888B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 曹培炎;刘雨润 | 申请（专利权）人： | 深圳源光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/10 | 分类号： | H01J43/10 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 罗水江 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光电倍增器(200)，其包括：电子喷射器(202)；检测器(209)；衬底(203)；以及在所述衬底(203)中的第一电极(210)；在所述衬底(203)中的第二电极(220)；在所述衬底(203)中的第三电极(230)；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极(210,220,230)中的每个电极包括与所述衬底(203)的法线方向成角度的平坦或弯曲的表面；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极(210,220,230)中的每个电极包括第一端(210A,220A,230A)和第二端(210B,220B,230B)，所述第一端(210A,220A,230A)比所述第二端更接近所述电子喷射器(202)；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极(210,220,230)中的每个电极在空间上布置成使得所述第一电极、第二电极和第三电极(210,220,230)的第二端(210B,220B,230B)在同一平面(216)上，或者使得所述第一电极和第三电极(210,230)的第二端(210B，230B)所在的平面(216)与所述第二电极(220)相交。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 倍增器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种光电倍增器，包括：电子喷射器，其配置成回应于入射到所述电子喷射器上的入射光来发射一次电子；检测器，其配置成收集电子并提供代表所述入射光的输出信号；衬底；以及在所述衬底中并且在所述电子喷射器与所述检测器之间的第一电极，所述第一电极配置成回应于电子撞击所述第一电极而发射二次电子；在所述衬底中并且在所述第一电极与所述检测器之间的第二电极，所述第二电极配置成回应于电子撞击所述第二电极而发射二次电子；在所述衬底中并且在所述第二电极与所述检测器之间的第三电极，所述第三电极配置成回应于电子撞击所述第三电极而发射二次电子；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极包括与所述衬底的法线方向成角度的平坦或弯曲的表面；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极包括第一端和第二端，所述第一端比所述第二端更接近所述电子喷射器；其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极在空间上布置成使得所述第一电极的第二端、所述第二电极的第二端以及所述第三电极的第二端在同一平面上，或者使得所述第一电极的第二端和所述第三电极的第二端所在的平面与所述第二电极相交。
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