[发明专利]酚醛清漆型树脂及抗蚀膜有效
| 申请号： | 201680071738.4 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108368214B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;佐藤勇介 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/28 | 分类号： | C08G8/28;C08L61/12;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，具有下述结构式(1)或(2)[式中，Ar表示亚芳基。R |
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| 搜索关键词： | 酚醛 清漆 树脂 抗蚀膜 | ||
【主权项】：
1.一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，具有下述结构式(1)或(2)所示的结构部位作为重复单元，树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，![]()
式中，Ar表示亚芳基，R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者，m各自独立地为1～3的整数，X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。
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