[发明专利]具有圆柱各向异性热导率的复合装置

摘要

提供了一种用于在加工室中支撑基底和调节该基底表面温度的设备及其制造方法。该设备包括基座，其具有用于支撑所述基底的表面，和用于加热该基底的加热器，并且该加热器紧邻该基座布置。该基座是由复合材料制成的，其包含植入基质中的多个导热弓形元件，该多个导热弓形元件的每个是同心排列的，并且在径向上限定了预定的间隔，以使得所述复合材料在该基座的圆柱坐标系中，在径向(ρ)，方位角和轴向(z)方向上提供各向异性热导率。

主权项

1.一种用于在加工室中支撑基底和调节所述基底表面温度的设备，所述设备包含：基座，其包括用于支撑所述基底的表面；和加热器，用于加热所述基底，所述加热器紧邻所述基座布置，其中所述基座是由复合材料制成的，其包含植入基质中的多个导热弓形元件，所述多个导热弓形元件是同心排列的，并且在径向上限定了有间距的预定的间隔，以使得其在基座的方位角方向上的热导率高于基座的径向(ρ)和轴向(z)方向上的热导率，从而加热器的热量沿着所述基座的方位角方向上均匀分布，和其中，所述多个导热弓形元件与加热器的电路是分离的，并且由加热器所传递的热量加热。