[发明专利]具有灵活性的照射器在审
| 申请号： | 201680072463.6 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN108369384A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | P·V·凯卡 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 公开了一种方法，包括将辐射束分割成具有第一偏振的所述辐射束的第一部分和具有第二偏振的所述辐射束的第二部分；形成具有在该第一偏振与该第二偏振之间的第一偏振分布的第一束和/或通过调制所述束的第一部分而具有第一强度分布的第一束；形成具有在该第一偏振与该第二偏振之间的第二偏振分布的第二束和/或通过调制所述束的第二部分而具有第二强度分布的第二束；以及组合具有第二偏振的所述第一束的至少一部分与具有第一偏振的所述第二束的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 辐射束 偏振分布 强度分布 调制 照射器 分割 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：提供具有第一偏振的第一束部分和具有不同的第二偏振的第二束部分；在所述第二束部分未被阻挡的情况下阻挡所述第一束部分，或从所述第一束部分形成具有所述第二偏振的第一束，所述第一束具有通过调制所述第一束部分而获得的第一强度分布；在所述第一束部分未被阻挡的情况下阻挡所述第二束部分，或从所述第二束部分形成具有所述第一偏振的第二束，所述第二束具有通过调制所述第二束部分而获得的第二强度分布；和提供包括所述第一束和/或所述第二束的输出束，其中所述输出束包括所述第一强度分布和/或所述第二强度分布并且包括所述第一偏振和/或所述第二偏振。
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