[发明专利]酚醛清漆型树脂及抗蚀膜有效
| 申请号： | 201680072587.4 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108368213B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 今田知之 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/04 | 分类号： | C08G8/04;C08L61/06;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，其包含具有下述结构式(1)[式中α为下述结构式(2)所示的结构部位(α)，n为2～10的整数。]所示分子结构的环状酚醛清漆型树脂(A)，树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，树脂中存在的结构部位(α)中的至少一个是l为1的结构部位(α1)、至少一个是l为2的结构部位(α2)。 |
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| 搜索关键词： | 酚醛 清漆 树脂 抗蚀膜 | ||
【主权项】：
1.一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的环状酚醛清漆型树脂(A)，树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，树脂中存在的结构部位(α)中的至少一个是l为1的结构部位(α1)、至少一个是l为2的结构部位(α2)，![]()
式(1)中，α为下述结构式(2)所示的结构部位(α)，n为2～10的整数，![]()
式(2)中，R1为氢原子、任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基中的任意者；R2各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者，任选与萘环上的任意碳原子键合，m为1～5的整数；X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，‑OX基任选与萘环上的任意碳原子键合，l为1或2。
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