[发明专利]高频电源装置及高频电源装置的控制方法

摘要

在通过高频电源装置的扫频来进行阻抗匹配的频率控制中，确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，由此缩短检测出反射系数或反射电力成为极小的频率为止所需的时间。通过以下两阶段的控制来进行高频电源装置的阻抗匹配的频率控制：(A)相位控制，基于振荡频率的相位状态来确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，并以确定的扫掠方向来开始频率增减；(B)反射电力控制，以反射系数或反射量作为完成频率控制的控制的控制完毕条件。

主权项

1.一种高频电源装置，其是对于伴随放电的负载供给高频电力的高频电源装置，其中，该高频电源装置具备：高频产生电路，其将频率设为可变；频率控制电路，其输出控制上述高频产生电路的频率变更的控制信号；反射状态检测电路，其包含检测上述高频产生电路的相位状态的相位检测电路、以及运算上述高频产生电路的输出端的反射系数值及/或反射量的反射运算电路；控制方向指示电路，其基于上述相位检测电路输出的相位状态，在频率变更中输出指示使频率增加或减少的控制方向的方向指示信号；以及再控制电路，其向上述频率控制电路输出对上述频率变更进行再次指示的再控制信号，上述频率控制电路对上述高频产生电路进行通过包含相位控制以及反射电力控制的控制将频率设为可变的频率控制，并且进行基于上述再控制信号进行的对上述高频产生电路的控制信号的输出，其中，上述相位控制为，在控制开始时，基于上述控制方向指示电路输出的方向指示信号，来控制频率变更中的频率增减，上述反射电力控制为，在控制完毕时，将上述反射运算电路输出的反射系数值及/或反射量作为控制完毕条件来控制频率变更的持续/停止，上述再控制电路以通过上述频率变更而决定的频率中的反射系数值及/或反射量作为中心值，并具有将在该中心值的上下具有规定宽幅的反射系数值范围及/或反射量范围作为决定再控制的阈值范围，当处于以上述反射运算电路检测出的反射系数值为反射系数范围外以及以上述反射运算电路检测出的反射量为上述反射量范围外的至少一方时，输出再控制信号。