[发明专利]确定具有电容电极和压电电极的MEMS麦克风的绝对灵敏度的系统和方法有效
| 申请号： | 201680073315.6 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108370483B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | A.多勒 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R29/00 | 分类号： | H04R29/00;H04R23/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;申屠伟进 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 确定MEMS麦克风（100）的绝对灵敏度的麦克风系统和方法。麦克风系统包括扬声器（155）、MEMS麦克风（100）和控制器（205）。扬声器（155）被配置为生成声压。MEMS麦克风（100）包括电容电极（105）、背板（110）和压电电极（115）。电容电极（105）被配置为使得声压引起第一移动并生成第一机械压力。压电电极（115）耦合到电容电极（105）并被配置为基于声压来生成第一压电响应信号。压电电极（115）还被配置为基于第一机械压力来生成第二压电响应信号。控制器（205）被配置为基于第一移动来确定第一电容响应并且基于第一电容响应、第一压电响应信号和第二压电响应信号来确定电容电极（105）的绝对灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 具有 电容 电极 压电 mems 麦克风 绝对 灵敏度 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风系统，包括：被配置为基于扬声器控制信号来生成声压的扬声器；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括：电容电极，所述电容电极被配置为使得所述声压引起所述电容电极的第一移动，所述电容电极被配置为基于电容控制信号而生成第一机械压力，位于所述电容电极的第一侧上的背板，和与所述电容电极耦合的压电电极，所述压电电极被配置为基于所述声压生成第一压电响应信号，和基于所述第一机械压力生成第二压电响应信号；和耦合到所述扬声器、所述电容电极、所述背板和所述压电电极的控制器，所述控制器被配置为生成所述扬声器控制信号，基于所述电容电极的所述第一移动而确定第一电容响应；生成所述电容控制信号，和基于所述第一电容响应、所述第一压电响应信号和所述第二压电响应信号来确定所述电容电极的绝对灵敏度。
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