[发明专利]中心固定的MEMS麦克风膜

摘要

MEMS麦克风（101）具有背板（105）、弹簧（215）和膜（103）。在一个实施例中，该膜（103）经由支撑件（107）支撑在膜的近似中心中。该支撑件（107）连接至膜（103）的近似中心和背板（105）的近似中心。该膜（103）连接至提供电连接的弹簧（215）。该膜（103）可以经由电连接而被电偏置。在一个不同的实施例中，一个或多个超程停止件（617）固定至背板（605）并通过膜（603）的孔径（619）。该超程停止件（617）被配置成防止膜（603）在与背板（605）相对的径向方向上移动。该膜（603）包括：应力梯度、折皱、或者设置或确定膜的刚度的另一结构。

主权项

1.一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括：具有预先确定的刚度和中心区域的膜；至少一个弹簧，所述至少一个弹簧具有第一端部和第二端部，所述第一端部连接至所述膜；背板；连接至所述膜的所述中心区域且连接至所述背板的支撑件，所述支撑件安置在所述膜和所述背板之间。