[发明专利]用于监视在太阳能模块中形成隔离槽的激光划片过程的方法和系统

摘要

本发明描述一种用于监视用于在太阳能模块中形成隔离槽(21,22,23)的激光划片过程的方法和系统(200)。所述方法包括以下步骤：提供半成品太阳能模块(10)，形成隔离槽(21,22,23)，在所述半成品太阳能模块的第一表面(101)处照射所述半成品太阳能模块的区域(4)，在所述半成品太阳能模块(10)的第二表面(102)处检测透射通过所述半成品太阳能模块(10)的所述照射区的光的量，以及评估所述照射区中的所述所形成的隔离槽(21,22,23)。所述系统包括用于产生激光束的装置，用于照射半成品太阳能模块的区域的装置，用于检测光(500)的量的装置以及用于评估所形成的隔离槽(600)的装置。所述方法和所述系统(200)提供一种用于连续检查隔离槽(21,22,23)的简单、快速且非常有效的方式。

主权项

1.一种用于监视在太阳能模块中形成隔离槽的激光划片过程的方法，所述方法包括以下步骤：·提供半成品太阳能模块，所述半成品太阳能模块包括在透明衬底上的功能层堆叠，所述功能层堆叠包括第一接触层、光伏层以及第二接触层中的至少一个，·使用激光束在所述功能层堆叠中的至少一个层内形成隔离槽，所述激光束去除在所述隔离槽的区域中的所述功能层堆叠中的所述至少一个层，·在半成品太阳能模块的第一表面处照射所述半成品太阳能模块的区域，其中所述照射区在第一侧向方向上覆盖所述隔离槽的至少一部分且在正交于所述第一侧向方向的第二侧向方向上覆盖所述整个隔离槽和周围区域，·在半成品太阳能模块的第二表面处检测透射通过所述半成品太阳能模块的所述照射区的光的量，其中用于检测所述光的装置与用于照射的装置布置在相同的光轴处，以及·通过比较所述检测到的光的量与至少一个参考值来评估所述照射区中形成的所述隔离槽。