[发明专利]一种确定测量对象层厚或者距离的太赫兹测量方法和太赫兹测量设备

摘要

本发明涉及一种测量层厚和/或者距离的方法和太赫兹测量设备，其中，从太赫兹收发装置4中沿着光轴C向待测量对象2,102发射至少一束太赫兹光束7a，并且检测经过所述待测量对象2,102的至少一层壁3并被反射回来的太赫兹反射光7，其中对所述检测到的反射的太赫兹反射光7b的测量信号A进行分析，并通过在壁3的边界层2a和2b处反射回来的反射光7的传播时间差来确定壁厚。本发明中，还规定了利用不同的光轴C进行多次测量，其中发射的所述太赫兹光束7a的所述光轴C在测量中或者两次测量中间会进行调整，并利用其中的一次测量结果确定所述壁厚d。优选地，所述光轴会连续并且/或者周期性地在调整角度范围α内进行调整，并且在上述过程中，记录多次测量结果，并使用其中振幅最大的测量结果作为确定所述壁厚的测量。

主权项

1.一种通过太赫兹光束7测量待测量对象2或者102壁厚d或者距离的方法，其中从太赫兹收发装置4沿着光轴C往待测量对象2或者102上发射至少一束太赫兹光束7a，并且检测穿过或者到达所述待测量对象2,102的至少一层壁3并被反射回来的太赫兹反射光7，其中对检测到的反射的太赫兹光线7b的测量信号进行分析，并通过所述层3的至少一个边界表面2a和2b处反射的反射光7的传播时间差t2‑t1来确定壁厚d和/或者距离，该方法特点在于使用不同的光轴C进行多次测量，在测量时或者两次测量之间调整发射的太赫兹光束7a的光轴C并使用所述多次测量中的一次来确定所述壁厚d和/或者距离。