[发明专利]图案形成用自身组织化组合物及图案形成方法有效
| 申请号： | 201680075799.8 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109071823B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 森田和代 | 申请（专利权）人： | 王子控股株式会社 |
| 主分类号： | C08G81/00 | 分类号： | C08G81/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种即使在形成尺寸较大的图案的情形时，亦能够形成良好的相分离构造的图案形成用自身组织化组合物。此外，本发明的课题在于提供一种在形成微细图案构造时无需底层等而能够以简单的过程形成图案的图案形成用自身组织化组合物。本发明关于一种图案形成用自身组织化组合物，其特征在于含有如下嵌段共聚物，该嵌段共聚物含有：聚合部a，其包含2单位以上的选自葡萄糖单位及木糖单位中的至少1种；与聚合部b，其包含2单位以上的选自含芳香环单位、含硅单位及含金属单位中的至少1种。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 自身 组织 组合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成用自身组织化组合物，其特征在于含有嵌段共聚物，该嵌段共聚物含有：聚合部a，其包含2单位以上的选自葡萄糖单位及木糖单位中的至少1种；与聚合部b，其包含2单位以上的选自含芳香环单位、含硅单位及含金属单位中的至少1种。
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