[发明专利]成膜方法有效
申请号: | 201680075857.7 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN108474115B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 香取重尊;广木一亮;织田真也;人罗俊实 | 申请(专利权)人: | 株式会社FLOSFIA |
主分类号: | B05D1/02 | 分类号: | B05D1/02 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 周丹;朴圣洁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的,本发明提出了一种成膜方法。本发明的方法的实施方式包括:将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤),将雾或液滴携带至设置在成膜室的基体上(雾的运送步骤),以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应,从而在基体上成膜(成膜步骤)。 | ||
搜索关键词: | 方法 | ||
【主权项】:
1.一种成膜方法,其包括:将含有非质子溶剂的原料溶液通过雾化变成雾或液滴;通过载气将所述雾或液滴运送到基体上;并且通过所述雾或液滴的反应在所述基体上成膜。
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