[发明专利]成膜方法有效

专利信息
申请号: 201680075857.7 申请日: 2016-12-21
公开(公告)号: CN108474115B 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 香取重尊;广木一亮;织田真也;人罗俊实 申请(专利权)人: 株式会社FLOSFIA
主分类号: B05D1/02 分类号: B05D1/02
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 周丹;朴圣洁
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的,本发明提出了一种成膜方法。本发明的方法的实施方式包括:将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤),将雾或液滴携带至设置在成膜室的基体上(雾的运送步骤),以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应,从而在基体上成膜(成膜步骤)。
搜索关键词: 方法
【主权项】:
1.一种成膜方法,其包括:将含有非质子溶剂的原料溶液通过雾化变成雾或液滴;通过载气将所述雾或液滴运送到基体上;并且通过所述雾或液滴的反应在所述基体上成膜。
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