[发明专利]线束光源及线束照射装置以及激光剥离方法

摘要

本发明的线束照射装置(1000)包括：工作台(200)；线束光源(100)，其利用线束照射放置于工作台(200)上的工件(300)；及输送装置(250)，其使工作台(200)及线束光源(100)的至少一者移动以使线束在工件上的照射位置在与线束交叉的方向上移动。线束光源具有多个半导体激光元件、及支承多个半导体激光元件的支承体。多个半导体激光元件沿快轴方向上延伸的同一条线排列，且从半导体激光元件各自的发光区域射出的激光在同一在线平行地扩散而形成线束。

主权项

1.一种线束照射装置，其特征在于，包括：工作台；线束光源，其利用线束来照射放置于所述工作台上的工件；及输送装置，其使所述工作台及所述线束光源的至少一者移动，以使所述工件上的所述线束的照射位置在与所述线束交叉的方向上移动，所述线束光源具有多个半导体激光元件、及支承所述多个半导体激光元件的支承体，所述多个半导体激光元件分别具有半导体层叠结构，该半导体层叠结构具有包含射出激光的发光区域的端面，所述发光区域具有与所述半导体层叠结构的层叠方向平行的快轴方向的尺寸及与所述层叠方向垂直的慢轴方向的尺寸，所述多个半导体激光元件沿在所述快轴方向上延伸的同一条线排列，从所述多个半导体激光元件各自的所述发光区域射出的所述激光在所述同一条线平行地扩散而形成所述线束。