[发明专利]玻璃基板、层叠基板、层叠体以及半导体封装的制造方法有效
申请号: | 201680076451.0 | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN108473362B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 泽村茂辉;小野和孝;塙优 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社 |
主分类号: | C03C3/083 | 分类号: | C03C3/083;C03C3/085;C03C3/087;H01L23/15 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及一种玻璃基板,作为基本组成,以氧化物基准的摩尔%表示,含有SiO |
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搜索关键词: | 玻璃 层叠 以及 半导体 封装 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板,其特征在于,作为基本组成,以氧化物基准的摩尔百分比表示,含有以下成分:SiO2:55%~75%,Al2O3:2%~15%,MgO:0%~10%,CaO:0%~10%,SrO:0%~10%,BaO:0%~15%,ZrO2:0%~5%,Na2O:0%~20%,K2O:5%~30%,Li2O:0%~5.0%,碱金属氧化物的合计含量以氧化物基准的摩尔百分比表示为10%~30%,碱金属氧化物的合计含量除以SiO2的含量而得的值为0.50以下,Na2O的含量除以从Na2O和K2O的合计含量减去Al2O3的含量后的值而得到的值为0.90以下,50℃~350℃下的平均热膨胀系数α1为11ppm/℃~16ppm/℃。
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