[发明专利]微发光二极管转移方法及制造方法有效
| 申请号： | 201680078212.9 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108463891B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;G09F9/30;H01S5/343 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨国权;李慧 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微发光二极管(3r)转移方法及制造方法。该微发光二极管(3r)转移方法包括：在承载衬底(1)上的要拾取的微发光二极管(3r)上形成牺牲柱(4)；经由牺牲柱(4)将要拾取的微发光二极管(3r)接合到拾取衬底(5)；从承载衬底(1)剥离要拾取的微发光二极管(3r)；将拾取衬底(5)上的微发光二极管(3r)接合到接收衬底(12)；以及从拾取衬底(5)剥离所述微发光二极管(3r)。本发明不需要制造复杂的拾取头，因此，技术方案相对简单。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.一种微发光二极管转移方法，包括：在承载衬底上的要拾取的微发光二极管上形成牺牲柱；经由牺牲柱将要拾取的微发光二极管接合到拾取衬底；从承载衬底剥离要拾取的微发光二极管；将拾取衬底上的微发光二极管接合到接收衬底；以及从拾取衬底剥离所述微发光二极管。
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