[发明专利]由多相交变或脉冲电流驱动的等离子体装置及产生等离子体的方法

摘要

一种等离子体源和产生等离子体的方法被提供。所述等离子体源包括至少三个空心阴极，所述至少三个空心阴极包括第一空心阴极、第二空心阴极和第三空心阴极，每个空心阴极具有等离子体出口区域。所述等离子体源包括能够产生多个输出波的电源，所述多个输出波包括第一输出波、第二输出波和第三输出波，其中所述第一输出波和所述第二输出波异相，所述第二输出波和所述第三输出波异相，并且所述第一输出波和所述第三输出波异相。每个空心阴极电连接至所述电源，以使得所述第一空心阴极电连接至所述第一输出波，所述第二空心阴极电连接至所述第二输出波，并且所述第三空心阴极电连接至所述第三输出波。

主权项

1.一种等离子体源，其包括：至少三个空心阴极，所述至少三个空心阴极包括第一空心阴极、第二空心阴极和第三空心阴极，每个空心阴极具有等离子体出口区域；以及电源，所述电源能够产生多个输出波，所述多个输出波包括第一输出波、第二输出波和第三输出波，其中所述第一输出波和所述第二输出波异相，所述第二输出波和所述第三输出波异相，并且所述第一输出波和所述第三输出波异相；其中每个空心阴极电连接至所述电源，以使得所述第一空心阴极电连接至所述第一输出波，所述第二空心阴极电连接至所述第二输出波，并且所述第三空心阴极电连接至所述第三输出波；其中电流在异电相位的所述至少三个空心阴极之间流动；并且其中所述等离子体源能够在所述空心阴极之间生成等离子体。