[发明专利]液滴沉积头有效
| 申请号： | 201680080523.9 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108883634B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 高松远;彼得·马迪洛维奇;约翰·菲利普·塔特姆;亚历山德鲁·卡扎库 | 申请（专利权）人： | 赛尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李薇;杨明钊 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种液滴沉积头，其具有连接到液滴喷嘴和流体储槽的流体腔室；以及压电致动器元件，其至少部分地通过上面具有电极的流体腔室壁形成，所述元件可响应于驱动电压移位以在所述腔室中产生压力，从而使流体液滴从所述腔室喷出通过所述喷嘴，其中所述电极配备有钝化涂层，其至少部分地包括层压制件，所述层压制件包括：最接近所述电极或接触所述电极的无机绝缘层以及位于所述无机绝缘层之上的有机绝缘层，其中所述绝缘层中的缺陷往往会在其间的界面处不对齐，且其中所述无机绝缘层具有小于或等于500nm的厚度且所述有机绝缘层具有小于3μm的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种液滴沉积头，其具有连接到液滴喷嘴和流体储槽的流体腔室；以及压电致动器元件，其至少部分地通过上面具有电极的流体腔室壁形成，所述元件能够响应于驱动电压移位以在所述腔室中产生压力，从而使流体液滴从所述腔室喷出通过所述喷嘴，其中所述电极配备有钝化涂层，其至少部分地包括层压制件，所述层压制件包括：最接近所述电极或接触所述电极的无机绝缘层以及位于所述无机绝缘层之上的有机绝缘层，其中所述绝缘层中的缺陷往往会在其间的界面处不对齐，且其中所述无机绝缘层具有小于或等于500nm的厚度且所述有机绝缘层具有小于3μm的厚度。
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