[发明专利]高纯度三甲硅烷基胺、制备方法和用途有效
| 申请号： | 201680080583.0 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN108602840B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | B·M·凯托拉;J·A·马多克;B·D·瑞肯;M·D·泰尔根霍夫;X·周 | 申请（专利权）人： | 南大光电半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C07F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 239500 安徽省滁州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种组合物，其包含：三甲硅烷基胺和小于5ppmw的卤素。本发明还公开了一种制备甲硅烷基胺的方法，该方法包括使氨和包含氨基硅烷官能团的化合物在足以引起反应的条件下混合以形成甲硅烷基胺和副产物，其中所述包含氨基硅烷官能团的化合物根据式(I)R |
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| 搜索关键词： | 纯度 硅烷 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，包含：三甲硅烷基胺和小于5ppmw的卤素。
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