[发明专利]用于确定物体的高度位置的方法

摘要

本发明涉及一种方法，该方法用于通过显微镜(10)在物体(12)的横向第一位置处确定物体(12)的高度位置，显微镜沿与物体的高度方向对应的z方向利用点扩散函数对物体(12)成像，包括以下步骤：在宽视场中用显微镜(10)对物体(12)成像并确定宽视场强度，通过将宽视场强度(IW)与预定比例因子相乘来计算第一位置处的预期最大强度，在第一位置对物体(12)部分共焦地成像，其中焦点位于景深范围内的z方向的测量位置，并确定第一位置处的部分共焦成像的部分共焦强度，通过在部分共焦强度和宽视场强度与预定的链接因子的乘积之间形成差值来计算(第一位置处的)对应于点扩散函数的强度，使用之前已知的点扩散函数的形式、已算出的对应于点扩散函数的强度以及已算出的预期最大强度，计算点扩散函数取最大值时所处的焦点的z坐标，并使用该z坐标作为物体(12)在第一位置处的高度位置。

主权项

1.一种通过使用显微镜(10，100，200)确定物体(12)在物体(12)的横向的第一位置处的高度位置的方法，所述显微镜沿着与高度方向一致的z方向利用点扩散函数(PSF)对物体(12)成像，所述方法包括以下步骤：‑在宽视场中用显微镜(10，100，200)对物体(12)成像并确定宽视场强度(I_W)，‑通过将宽视场强度(I_W)乘以预定的比例因子(Sk)来计算在所述第一位置预期的最大强度(I_max^*)，‑在所述第一位置对物体(12)进行部分共焦成像，其中焦点位于z方向上的测量位置(z₁)，其中具有大于衍射极限的开口的针孔装置(18，118，218)被用于部分共焦成像，并且其中部分共焦成像限定景深范围并且焦点在景深范围内，并确定所述第一位置处的部分共焦图像的部分共焦强度(I₁)，‑通过在部分共焦强度(I₁)与宽视场强度(I_W)和预定链接因子(Vk)的乘积之间进行减法运算，计算第一位置处的与点扩散函数(PSF)对应的强度(I₁^*)，‑使用点扩散函数(PSF)的预定形式、已算出的对应于点扩散函数(PSF)的强度(I₁^*)和已算出的预期最大强度(I_max^*)计算焦点的z坐标(z_h)，点扩散函数(PSF)在所述焦点处取最大值，和‑使用所述z坐标(z_h)作为物体(12)在所述第一位置处的高度位置。