[发明专利]反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法有效
| 申请号： | 201680081520.7 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108604008B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 伊藤恭彦;绀野伸显;平田善明;吉田幸久 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括：以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1)；以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的与反射体(11M)相反的一侧连结的一对第二梁(11BL2、11BR2)。在第一梁(11BL1、11BR1)的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极(14)。第一梁(11BL1、11BR1)沿着与主表面交叉的方向能够相互向反方向位移。一对第二梁(11BL2、11BR2)在将第一梁(11BL1、11BR1)与第二梁(11BL2、11BR2)连结的沿着第二梁(11BL2、11BR2)的主表面的方向上能够位移。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 驱动 装置 控制 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜驱动装置，其中，具备：反射体，所述反射体能够对入射光进行反射；及一对梁部，所述一对梁部在俯视观察下以夹着所述反射体的方式与所述反射体相连，所述一对梁部包括：以夹着所述反射体的方式与所述反射体直接相连的一对第一梁；以及与所述一对第一梁的与所述反射体相反的一侧连结的一对第二梁，在所述一对第一梁的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极，所述一对第一梁能够沿着与所述主表面交叉的方向相互向反方向位移，所述一对第二梁能够在将所述一对第一梁与所述一对第二梁连结并沿着所述第二梁的主表面的方向上位移。
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