[发明专利]三维测量装置

摘要

提供一种当进行三维测量时能够提高测量精度等的三维测量装置。基板检查装置(10)包括移动印刷基板(1)的输送机(13)、向印刷基板(1)照射预定光的照明装置(14)、用于拍摄被照射了该光的印刷基板(1)的相机(15)。相机(15)包括设置为能够在上下方向上变位的拍摄元件和使印刷基板(1)的像成像在其上的双侧远心光学系统。并且，在进行以三维测量为目的的与印刷基板(1)的预定区域有关的拍摄的前一阶段，进行该预定区域的高度测量等的同时，基于其结果进行拍摄元件(17)的高度调整等。

主权项

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射预定光；拍摄单元，所述拍摄单元具有设置为至少能够在上下方向上变位的拍摄元件和使被照射了所述预定光的所述被测量物上的预定区域的像成像在该拍摄元件的双侧远心光学系统；移动单元，所述移动单元能够使所述照射单元和所述拍摄单元与所述被测量物相对移动；以及图像处理单元，所述图像处理单元能够基于由所述拍摄单元拍摄到的图像对所述被测量物上的预定的测量对象执行三维测量，所述三维测量装置还包括：测量单元，在所述预定光之下进行与所述被测量物上的预定区域有关的拍摄的至少前一阶段，所述测量单元能够测量该预定区域的高度；以及调整单元，所述调整单元在基于所述测量单元的测量结果进行与该预定区域有关的拍摄时，能够调整所述拍摄元件的高度位置，使得该预定区域与所述拍摄元件之间的距离为预定距离。