[发明专利]多孔化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201680082260.5 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108698206B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | S·嘎纳帕西亚潘;N·B·帕蒂班德拉;R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;F·C·雷德克;M·C·奥里拉尔;傅博诣;M·山村;A·乔卡里汉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B3/28;B24B37/22;B24B37/24;C08J9/06;C08J9/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文揭示的实施方式总体上涉及抛光制品以及用于制造用于抛光工艺中的抛光制品的方法。更具体而言，本文揭示的实施方式涉及通过工艺产生的多孔抛光垫，所述工艺产出改良的抛光垫特性及性能，包括可调谐的性能。诸如三维打印工艺的增材制造工艺提供制成具有独特特性及属性的多孔抛光垫的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种形成多孔抛光垫的方法，所述方法包括以下步骤：利用三维打印机沉积多个复合物层以达到目标厚度，其中沉积所述多个复合物层的步骤包括以下步骤：将一或更多滴可固化树脂前驱物组成物分配到支撑件上；以及将一或更多滴孔隙形成组成物分配在所述支撑件上，其中所述孔隙形成组成物的至少一种组分是可移除的以在所述多孔抛光垫中形成孔。
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