[发明专利]用于过程窗口表征的设备和方法有效
| 申请号： | 201680082380.5 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108700818B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王德胜;万翔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种对图案化过程的过程窗口进行表征的方法，该方法包括：获得用于图案的检查部位的集合，所述图案限定待利用图案化过程施加到衬底上的特征，所述检查部位的集合对应于所述特征的集合，所述特征的集合是根据相应的特征对所述图案化过程的一个或更多个过程特性的变化的灵敏度而从所述特征之中选择的；依据所述图案化过程的变化的过程特性对一个或更多个衬底进行图案化；以及针对所述过程特性的变化中的每一个变化，在对应的检查部位处确定所述特征的集合中的至少一些是否在所述一个或更多个衬底上产生了不可接受的图案化结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 过程 窗口 表征 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680082380.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：元件判定装置及元件判定方法
- 下一篇：用于空气冷却电机部件的系统和方法
