[发明专利]具有多电极的电容式真空测量元件

摘要

本发明涉及一种具有第一壳体(1)的电容式真空测量元件，该第一壳体具有膜片(2)，该膜片(2)与该第一壳体隔开一定距离布置，以便在边缘区域(3)中形成密封，使得在它们之间形成基准真空空间(9)，其中，该第一壳体的和该膜片(2)的相对表面(7、8)包括至少一个电极(G、G₁、G₂、...G_n；M₁、M₂、...M_n)。设置第二壳体(4)以便在边缘区域中形成相对于膜片(2)的密封，并且与所述膜片一起形成测量真空空间(10)，在该测量真空空间中设置用于连接至处理空间的连接装置(5)。在这种情况下，壳体表面(7)上和/或膜片表面(8)上的电极(G、G₁、G₂、...G_n；M₁、M₂、...M_n)包括至少两个相对于彼此电绝缘的壳体电极(G₁、G₂、...G_n)或/和膜片电极(M₁、M₂、...M_n)，它们被布置成使得它们与至少一个相对电极(G、M)形成至少两个测量电容(C₁、C₂、...C_n)，借此可以在多个位置以电容的方式检测膜片的弯曲。在这种情况下，壳体电极(G)或壳体电极(G₁、G₂、...G_n)和/或膜片电极(M)或膜片电极(M₁、M₂、...M_n)可以可操作地连接至信号处理单元。

主权项

1.一种电容式真空测量元件，该电容式真空测量元件具有带有膜片(2)的第一壳体(1)，所述膜片(2)被布置成与所述第一壳体(1)间隔开一定距离，以便在边缘区域(3)中形成密封，使得在所述第一壳体(1)与所述膜片(2)之间形成基准真空空间(9)，其中，所述第一壳体的和所述膜片(2)的相对表面(7、8)包括至少一个电极(G、G1、G2、...Gn、M1、M2、...Mn)，其中，设置了第二壳体(4)，以便在所述边缘区域中相对于所述膜片(2)形成密封，并且与所述膜片形成测量真空空间(10)，在该测量真空空间(10)中设有用于连接至处理空间的连接装置(5)，其特征在于，壳体表面(7)和/或膜片表面(8)上的所述电极(G、G1、G2、...Gn；M1、M2、...Mn)包括至少两个相互电绝缘的壳体电极(G1、G2、...Gn)或/和膜片电极(M1、M2、...Mn)，它们被布置成使得它们与至少一个相对电极(G、G1、G2、...Gn；M1、M2、...Mn)形成至少两个测量电容(C1、C2、...Cn)，使得能够在多个位置处以电容的方式检测所述膜片的弯曲，其中，所述壳体电极(G)或所述壳体电极(G1、G2、...Gn)和所述膜片电极(M)或所述膜片电极(M1、M2、...Mn)在工作中连接到信号处理单元。