[发明专利]图案测量装置和图案测量方法有效
| 申请号： | 201680082888.5 | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108700412B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 太田洋也;谷本宪史;田盛友浩;山本琢磨 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;H01J37/147;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种与深槽、深孔的形成精度无关，能够高精度地测定槽底、孔底等的图案测量装置。因此，在本发明中，提供一种图案测量装置，其具备基于由带电粒子束装置得到的信号，测定在试样上形成的图案的尺寸的运算装置，上述运算装置根据基于对上述试样扫描带电粒子束而得到的检测信号，求出图案的第1部分与位于与该第1部分不同高度位置的第2部分之间的偏移以及上述图案的尺寸值，使用根据该检测信号求出的偏移以及表示上述图案的尺寸与上述偏移之间的关系的关系信息，修正上述图案的尺寸值。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案测量装置，其具备基于由带电粒子束装置得到的信号，测定在试样上形成的图案的尺寸的运算装置，其特征在于，所述运算装置根据基于对所述试样扫描带电粒子束而得到的检测信号，求出图案的第1部分与位于与该第1部分不同高度的第2部分之间的偏移以及所述图案的尺寸值，使用根据该检测信号求出的偏移以及表示所述图案的尺寸与所述偏移之间的关系的关系信息，修正所述图案的尺寸值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680082888.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：测定装置、观察装置、及测定方法
- 下一篇：用于校准扫描探针的方法和装置
