[发明专利]基板处理装置、控制器以及记录介质有效
| 申请号： | 201680083301.2 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108885969B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 福田满;细川理沙 | 申请（专利权）人： | 株式会社国际电气 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;王立杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供以下结构，具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面上的上述保修部件进行更新的状态下使上述显示部进行显示。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 控制器 以及 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，至少具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，对于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面上的上述保修部件进行更新的状态下使上述显示部进行显示。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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