[发明专利]激光装置有效
| 申请号： | 201680083420.8 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN108780979B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 宫本浩孝 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/1055 | 分类号： | H01S3/1055;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光装置具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极；第一扩束器，其被配置成使从腔室输出的光束的光束宽度至少在第一方向上扩展，该第一方向与一对放电电极之间的放电方向大致平行；以及窄带化光学系统，其中，该窄带化光学系统具有第二扩束器和光栅，该第二扩束器包含至少一个光学元件，被配置成使从腔室输出的光束的光束宽度至少在第二方向上扩展，该第二方向与第一方向大致垂直，该光栅被配置成使被第一扩束器和第二扩束器扩展了光束宽度后的光束在与第二方向大致平行的面内发生波长色散，至少一个光学元件和光栅中的至少一方被配置成对第一扩束器导致的波长色散进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光装置，其具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极，第一扩束器，其被配置成使从所述腔室输出的光束的光束宽度至少在第一方向上扩展，所述第一方向与所述一对放电电极之间的放电方向大致平行；以及窄带化光学系统，其中，所述窄带化光学系统具有：第二扩束器，其包含至少一个光学元件，该第二扩束器被配置成使从所述腔室输出的光束的光束宽度至少在第二方向上扩展，所述第二方向与所述第一方向大致垂直；以及光栅，其被配置成使被所述第一扩束器和所述第二扩束器扩展了光束宽度后的光束在与所述第二方向大致平行的面内发生波长色散，所述至少一个光学元件和所述光栅中的至少一方被配置成，对所述第一扩束器导致的波长色散进行补偿。
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