[发明专利]波长检测装置有效
| 申请号： | 201680084506.2 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN109073463B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 守屋正人 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;H01S3/137;H01S3/139 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种波长检测装置，其使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，波长检测装置包括：第1壳体，其对容纳标准具的内部空间进行封闭；输入窗口，其安装在形成于第1壳体的第1开口，将紫外线激光导入第1壳体内；第1密封部件，其对输入窗口的端缘部与第1开口的内周部之间的间隙进行密封；遮光膜，其配置在输入窗口的端缘部与密封部件之间，对从输入窗口朝向第1密封部件的紫外线激光进行遮挡；和扩散元件，其配置在第1壳体的外侧，在输入窗口的前级使紫外线激光扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种波长检测装置，其使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，该波长检测装置具有：第1壳体，其对容纳所述标准具的内部空间进行封闭；输入窗口，其安装在形成于所述第1壳体的第1开口，将所述紫外线激光导入到所述第1壳体内；第1密封部件，其对所述输入窗口的端缘部与所述第1开口的内周部之间的间隙进行密封；遮光膜，其配置在所述输入窗口的端缘部与所述密封部件之间，对从所述输入窗口朝向所述第1密封部件的所述紫外线激光进行遮挡；及扩散元件，其配置在所述第1壳体的外侧，在所述输入窗口的前级使所述紫外线激光扩散。
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