[发明专利]气体填充装置

摘要

本发明提供使气体管路冷却部小型且填充效率良好的气体填充装置。气体填充装置(1)具有本体单元(2)和软管单元(3)，该本体单元具有从气体的供给源一边计测气体的流量一边经由一次侧配管(71)输送气体的填充机构、以及对从填充机构导入的气体的配管进行冷却的气体管路冷却部(41)，该软管单元具有与从气体管路冷却部导出的二次侧配管(72)相连的填充软管(34)、以及配置于填充软管的顶端的填充喷嘴，其中，气体管路冷却部由铜合金构成。可以在二次配管和填充软管的连接部具有气体管路冷却部，可以设置多个填充机构，并对于各填充机构独立地设置气体管路冷却部。可以将气体管路冷却部收容于真空隔热结构的容器(42)，在容器，连接着经由安全阀(43)而使容器的真空部(42a)连通于扩散管的配管(44)。

主权项

1.一种气体填充装置，具有本体单元和软管单元，该本体单元具有从气体的供给源一边计测气体的流量一边经由一次侧配管输送该气体的填充机构、以及对从该填充机构导入的气体的配管进行冷却的气体管路冷却部，该软管单元具有与从所述气体管路冷却部导出的二次侧配管相连的填充软管、以及配置于该填充软管的顶端的填充喷嘴，其特征在于，所述气体管路冷却部由铜合金构成。