[发明专利]间距测量设备

摘要

本发明涉及一种间距测量设备，其具有两个磁场传感器、永磁体和半导体主体，其中，所述半导体主体具有整体地集成的分析处理电路并且能够借助所述磁场传感器求取差分信号并且提供作为所述求取的结果的输出信号，其中，所述基于无磁通区域的消除的输出信号的值与所述铁磁性探测器至所述两个磁场传感器的间距相关，并且在第一实施方式中，所述半导体主体布置在在X方向上磁化的磁体的U形地构造的极腿之间，其中，所述第一磁场传感器布置在处于所述第一极的两个彼此相对置的腿之间的区域中并且在极腿之间构造底面，并且所述半导体主体在Z方向上布置在所述底部区域上方，或在第二实施方式中，为了在对两个半导体传感器不同强度地作用的第二探测器的情况下测量所述磁通变化的大小，所述永磁体在Z方向上磁化并且所述两个极面中的一个构造在X‑Y平面并且所述磁场传感器沿所述极面布置。

主权项

1.间距测量设备(10)，具有：第一磁场传感器(34)，其中，所述第一磁场传感器(34)提供与磁场强度相关的第一测量信号；至少一个永磁体(20)，该永磁体具有带第一极面的第一磁极(24)和带第二极面的第二磁极(28)；半导体主体(30)，该半导体主体具有整体集成的分析处理电路，其中，所述分析处理电路与所述第一磁场传感器(34)处于电作用连接中并且所述半导体主体(30)具有构造在X‑Y平面中的表面，其特征在于，设置第二磁场传感器(38)，该第二磁场传感器基于与所述第一磁场传感器(34)相同的物理工作原理，并且所述第二磁场传感器(38)提供与所述磁场强度相关的第二测量信号，并且所述第二磁场传感器(38)与所述分析处理电路处于作用连接中，并且所述分析处理电路为了抑制稳恒磁场而求取差分信号并且提供输出信号作为所述求取的结果，其中，基于无磁通区域的消除的所述输出信号的值与所述铁磁性探测器相对于所述两个磁场传感器的间距相关，并且所述两个磁场传感器与所述半导体主体的表面力锁合地连接并且为了测量所述磁场的相同分量而相同地布置，并且，在第一实施方式中，为了在第一探测器相同强度地作用到两个半导体传感器(34、38)上的情况下测量磁通变化的大小，所述半导体主体(30)布置在沿X方向磁化的磁体的U形构造的极腿之间，其中，所述第一磁场传感器(34)布置在处于第一极的两个彼此相对置的腿(124、128)之间的区域中，并且所述第二磁场传感器(38)布置在处于第二极的两个彼此相对置的腿(124、128)之间的区域中，并且在所述极腿(124、128)之间构造有底面(130)，并且所述半导体主体(30)在Z方向上布置在所述底部区域(130)上方，或者，在第二实施方式中，为了在第二探测器不同强度地作用到两个半导体传感器(34、38)上的情况下测量磁通变化的大小，所述永磁体(20)在Z方向上磁化并且所述两个极面中的一个极面构造在X‑Y平面中并且所述磁场传感器(34、38)沿该一个极面布置。