[发明专利]内窥镜用光学单元的制造方法，内窥镜用光学单元和内窥镜有效
| 申请号： | 201680086041.4 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN109310268B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 吉田和洋;五十岚考俊;前江田和也 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | A61B1/00 | 分类号： | A61B1/00;A61B1/04;A61B1/05;G02B7/02;G02B23/26;G02B23/24;H01L27/14;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;牛孝灵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的内窥镜用光学单元的制造方法包括：将分别包括多个光学元件(10～50)的多个光学元件晶圆(10W～50W)层叠来制备接合晶圆(60W)的工序，沿用于进行切单的切割线(CL)在接合晶圆(60W)上形成槽(T90)的槽形成工序，和以比槽(T90)的宽度窄的切割余量切割接合晶圆(60W)来进行切单的切割工序，该制造方法还包括在槽(T90)中设置加强部件(70)的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 内窥镜 用光 单元 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种内窥镜用光学单元的制造方法，其特征在于，包括：将分别包括多个光学元件的多个光学元件晶圆层叠来制备接合晶圆的工序；沿用于进行切单的切割线在所述接合晶圆上形成槽的槽形成工序；和以比所述槽的宽度窄的切割余量沿所述切割线切割所述接合晶圆来进行切单的切割工序，所述制造方法还包括在所述槽中设置加强部件的工序。
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