[发明专利]窄带化KrF准分子激光装置

摘要

窄带化KrF准分子激光装置包括激光腔、窄带化光学系统、致动器、输出耦合镜、波长检测器以及波长控制部。致动器构成为能够变更由窄带化光学系统选择的光的波长。波长检测器包括低压水银灯、标准具及光分布传感器，低压水银灯在内部收纳有水银、对水银的至少一部分进行吸附的吸气材料以及对水银的至少一部分进行激励的热阴极；标准具配置在从低压水银灯射出的基准光和从输出耦合镜射出的被检测光所入射的位置；光分布传感器检测基准光的干涉条纹的波形和被检测光的干涉条纹的波形。波长控制部对基准光的干涉条纹的波形进行累计而计算累计波形，根据累计波形和被检测光的干涉条纹的波形计算被检测光的波长，并根据被检测光的波长计算结果控制致动器。

主权项

1.一种窄带化KrF准分子激光装置，其中，所述窄带化KrF准分子激光装置具有：激光腔，其包括第1窗口和第2窗口，在该激光腔的内部配置有一对放电电极，该激光腔中封入包括氪气和氟气的激光气体；窄带化光学系统，其配置在从所述第1窗口射出的光的光路上；致动器，其构成为能够变更由所述窄带化光学系统选择的光的波长；输出耦合镜，其与所述窄带化光学系统一起构成光谐振器，且所述输出耦合镜配置在从所述第2窗口射出的光的光路上，使从所述第2窗口射出的光的一部分射出；波长检测器，其包括低压水银灯、标准具和光分布传感器，该低压水银灯在内部收纳有水银、对所述水银的至少一部分进行吸附的吸气材料以及对所述水银的至少一部分进行激励的热阴极，该标准具配置在从所述低压水银灯射出的基准光和从所述输出耦合镜射出的被检测光所入射的位置，该光分布传感器对所述基准光的干涉条纹的波形和所述被检测光的干涉条纹的波形进行检测；以及波长控制部，其对所述基准光的干涉条纹的波形进行累计而计算累计波形，根据所述累计波形和所述被检测光的干涉条纹的波形计算所述被检测光的波长，并根据所述被检测光的波长的计算结果对所述致动器进行控制。