[发明专利]制造多层膜结构的方法和多层膜结构在审
申请号: | 201680087022.3 | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN109311277A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·P·福斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B32B17/00 | 分类号: | B32B17/00;E06B9/00;G02B5/28;C23C14/56;B29D11/00;G02B5/00;C23C16/54;F24S50/00;B32B7/12;H01L31/00;H01G9/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 根据本公开内容的一个方面,提供了一种制造多层膜结构(100)的方法,所述多层膜结构(100)被构造为贴附到支撑元件。所述方法包含:提供具有第一主表面(112)和第二主表面(114)的柔性基板(110),其中所述第一主表面是自粘合的;以及在第二主表面(114)上真空沉积层系统(120)。根据另外方面,提供了一种通过将多层膜结构(100)贴附到支撑元件(150)来改变所述支撑元件(150)的透射率和反射率中的至少一个的方法以及一种多层膜结构(100)。 | ||
搜索关键词: | 多层膜结构 主表面 支撑元件 贴附 柔性基板 真空沉积 反射率 透射率 自粘合 制造 | ||
【主权项】:
1.一种制造被构造为贴附到支撑元件的多层膜结构(100)的方法,所述方法包含:提供具有第一主表面(112)和第二主表面(114)的柔性基板(110),其中所述第一主表面(112)是自粘合的;以及在所述第二主表面(114)上真空沉积层系统(120)。
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