[发明专利]缺陷检查装置和方法有效
| 申请号： | 201680087039.9 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109416346B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 畠堀贵秀;长田侑也;田窪健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种声波传播影像化装置(10)，具备：声波赋予部(12)，其在作为测定对象的物体(11)的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；物理量测定部(15)，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；周期函数获取部(23)，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种声波传播影像化装置，其特征在于，具备：a)声波赋予部，其在作为测定对象的物体的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；b)物理量测定部，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；以及c)周期函数获取部，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。
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