[发明专利]压力传感器

摘要

本发明提供一种压力传感器，在该压力传感器中，能够提高压力的测量精度。压力传感器具有：筒状的壳体，其沿轴线方向延伸；隔膜，其与壳体的前端侧相接合，在与壳体的轴线交叉的方向上扩展，能够与在前端侧受到的压力相应地变形；以及传感器部，其配置在壳体内，能够输出与隔膜的变形相应的电信号。隔膜具有板状的基板部和从基板部的前端侧的面向前端侧突出并互相分离的3个以上的突出部。将基板部的厚度设为T，将突出部的轴线方向上的长度设为H，将假定没有突出部的情况下的基板部的前端侧的面即基板前端面的面积设为S1，将3个以上的突出部的前端侧的面即突出前端面的面积的总和设为S2，这时，满足0.05T≤H≤2.5T，且0.05≤(S2/S1)≤0.8。

主权项

1.一种压力传感器，其具有：筒状的壳体，其沿轴线方向延伸；隔膜，其与所述壳体的前端侧相接合，在与所述壳体的轴线交叉的方向上扩展，能够与在前端侧受到的压力相应地变形；以及传感器部，其配置在所述壳体内，能够输出与所述隔膜的变形相应的电信号，该压力传感器的特征在于，所述隔膜具有板状的基板部和从所述基板部的前端侧的面向前端侧突出并互相分离的3个以上的突出部，将所述基板部的厚度设为T，将所述突出部的所述轴线方向上的长度设为H，将假定没有所述突出部的情况下的所述基板部的前端侧的面即基板前端面的面积设为S1，将所述3个以上的突出部的前端侧的面即突出前端面的面积的总和设为S2，这时，满足0.05T≤H≤2.5T，且0.05≤(S2/S1)≤0.8。