[发明专利]电容式MEMS麦克风以及电子设备有效
| 申请号： | 201680087525.0 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109691135B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 电容式MEMS麦克风包括：衬底(32)；设置在所述衬底(32)上的底板(12)；设置在所述底板(12)上方的顶板(11)，所述顶板(11)与所述底板(12)相间隔开；其中，所述顶板(11)能相对于第一扭转轴(15)进行扭转并且被所述第一扭转轴(15)分为第一部分(13)和第二部分(14)，所述第一部分(13)和所述第二部分(14)与所述底板(12)形成两个电容器，第一组声孔(19)被设置在所述顶板(11)的第一部分(13)上。所述底板(12)能相对于第二扭转轴(18)进行扭转并且被所述第二扭转轴(18)分为第三部分(16)和第四部分(17)。所述第三部分(16)和所述第四部分(17)分别与所述第一部分(13)和所述第二部分(14)相对应。第二组声孔(20)设置在所述底板(12)的第四部分(17)上。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种电容式MEMS麦克风，包括：衬底；设置在所述衬底上的底板；设置在所述底板上方的顶板，所述顶板与所述顶板相间隔开；其中，所述顶板能相对于第一扭转轴进行扭转并且被所述第一扭转轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分与所述底板形成两个电容器，以及第一组声孔被设置在所述顶板的第一部分上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于潍坊歌尔微电子有限公司，未经潍坊歌尔微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680087525.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种扬声器、电子装置及用于扬声器布置的方法
- 下一篇：音频信号处理装置
