[发明专利]激光装置有效
| 申请号： | 201680088177.9 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109565144B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 宫本浩孝;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/137 | 分类号： | H01S3/137 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在具有窄带化光学系统的放电激励式的激光装置中，减少对窄带化光学系统施加的热负荷。激光装置具有在内部配置有一对放电电极(11a、11b)的激光腔(10)、以及包含配置在激光腔(10)外的光栅(14e)的窄带化光学系统(14)。激光装置还具有扩束光学系统，该扩束光学系统针对从激光腔(10)输出且朝向光栅(14e)行进的光束(B)，在与放电电极(11a、11b)之间的放电方向平行的第1方向和与放电方向垂直的第2方向上放大波束直径。扩束光学系统保持在与激光腔(10)和光栅(14e)分开形成的保持台(41)上。通过保持台(41)和扩束光学系统构成扩束单元(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光装置，其中，所述激光装置具有：激光腔，其在内部配置有一对放电电极；窄带化光学系统，其包含配置在所述激光腔外的光栅；扩束光学系统，其在与所述一对放电电极之间的放电方向平行的第1方向和与所述放电方向垂直的第2方向上，放大从所述激光腔输出且朝向所述光栅行进的光束的波束直径；以及保持台，其与所述激光腔和所述光栅分开形成，保持所述扩束光学系统，与所述扩束光学系统一起构成扩束单元。
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