[发明专利]用于电子工业中的溶剂有效
| 申请号： | 201680089183.6 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109690415B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋奇;任华;姜鑫;金應圭 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 适用于从显示器/半导体衬底或电子加工设备中尤其去除光刻胶和聚(酰胺酸)/聚酰亚胺的溶剂基本上由以下组成：(A)由二甲亚砜(DMSO)和N‑甲酰基吗啉中的至少一种组成的第一组分，以及(B)由以下中的至少一种组成的第二组分：N，N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N，N‑二甲基丙酰胺、N，N‑二甲基乙酰乙酰胺和N‑甲基‑ε‑己内酰胺。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子工业 中的 溶剂 | ||
【主权项】：
1.一种基本上由以下组成的溶剂：(A)由二甲亚砜(DMSO)和N‑甲酰基吗啉中的至少一种组成的第一组分，以及(B)由以下中的至少一种组成的第二组分：N，N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N，N‑二甲基丙酰胺、N，N‑二甲基乙酰乙酰胺和N‑甲基‑ε‑己内酰胺。
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