[发明专利]清洗衬底的方法和装置

摘要

本发明公开了一种使用超/兆声波装置(1003,3003,16062,17072)有效清洗衬底(20010)上的通孔(20034)、槽(20036)或凹进区域的方法，包括：将液体(1032)喷射到衬底(20010)和超/兆声波装置(1003,3003,16062,17072)之间的间隙中；设置超/兆声波电源的频率为f1，功率为P1以驱动超/兆声波装置(1003,3003,16062,17072)；在气泡总体积和衬底(20010)上的通孔(20034)、槽(20036)或凹进区域的体积的比值增大到第一设定值后，设置超/兆声波电源的频率为f2，功率为P2以驱动超/兆声波装置(1003,3003,16062,17072)；在气泡总体积和衬底(20010)上的通孔(20034)、槽(20036)或凹进区域的体积的比值减小到第二设定值后，再次设置超/兆声波电源的频率为f1，功率为P1；重复以上步骤直到衬底(20010)洗净。

主权项

1.一种使用超/兆声波装置清洗衬底上的通孔、槽或凹进区域的方法，其特征在于，包括：将液体喷射到衬底和超/兆声波装置之间的间隙中；设置超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁以驱动超/兆声波装置；在气泡总体积和衬底上的通孔、槽或凹进区域的体积的比值增大到第一设定值后，设置超/兆声波电源的频率为f₂，功率为P₂以驱动超/兆声波装置；在气泡总体积和衬底上的通孔、槽或凹进区域的体积的比值减小到第二设定值后，再次设置超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁；重复以上步骤直到衬底洗净。