[发明专利]检查基板的方法和具有指令存储于其上的计算机可读介质有效
| 申请号： | 201680090320.8 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109863573B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 伯纳德·G·穆勒;张雪娜;彼得·努南;库普雷特·辛格·维迪 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/22;G06T7/55 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述一种用于检查基板的方法。所述方法包括：在真空腔室中提供基板，所述基板是大面积基板，其中所述基板具有薄膜，所述薄膜具有沉积在所述基板上的晶粒结构；用成像带电粒子束显微镜产生一次带电粒子束，其中所述一次带电粒子束撞击在所述真空腔室中的所述基板上；以及从在所述一次带电粒子束撞击时从所述基板释放的信号粒子产生一个或多个图像，其中所述一个或多个图像是形貌图像。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 具有 指令 存储 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查基板的方法，所述方法包括：在真空腔室中提供所述基板，所述基板是大面积基板，其中所述基板具有薄膜，所述薄膜具有沉积在所述基板上的晶粒结构；用成像带电粒子束显微镜产生一次带电粒子束，其中所述一次带电粒子束撞击在所述真空腔室中的所述基板上；以及从在所述一次带电粒子束撞击时从所述基板释放的信号粒子产生一个或多个图像，其中所述一个或多个图像是形貌图像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680090320.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：弯曲的后扫描电极
- 下一篇：用于高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)的功率输送
