[发明专利]硬薄膜在审
| 申请号： | 201680090819.9 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109964153A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 沙拉法特·阿里;伯·琼森;延斯·伯奇;佩尔·埃克隆德 | 申请（专利权）人： | 赫普维科有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/14 | 分类号： | G02B1/14 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 胡秋玲;郑霞 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： |
系统和方法经由膜的沉积提供表面性质的改进。典型的膜可以包括至少三种、包括至少四种组分，并且典型地包括氮和氧中的至少一种，包括氮和氧两者。膜可以包括硅、磷和硼中的至少一种，以及一种或更多种改性剂。对于一些膜，改性剂可以包括具有大于 |
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| 搜索关键词： | 改性剂 场强 表面性质 低折射率 高折射率 紫外线消 透明的 阳离子 硬薄膜 沉积 改进 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜，包括:硅、磷和硼中的至少一种；氮；氧；以及至少一种改性剂元素，所述至少一种改性剂元素具有至少![]()
且不大于![]()
的阳离子场强。
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