[发明专利]触觉装置的大规模集成在审
| 申请号： | 201680091233.4 | 申请日： | 2016-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN110036495A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·杰森·凯勒;特里斯坦·托马斯·特鲁特纳 | 申请（专利权）人： | 脸谱科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/193;H01L41/25;H01L41/27;G06F3/01 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁丽超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用于触觉装置的大规模集成的方法。该方法包括根据指定的制造工艺在衬底上形成大规模集成(LSI)装置的第一弹性体层，该第一弹性体层具有多个基于流体的电路，第一弹性体层遵守多个形成规范。该方法进一步包括固化第一弹性体层。另外，根据指定的制造工艺利用第一弹性体层形成LSI装置的一个或多个额外的弹性体层，一个或多个额外的弹性体层具有多个基于流体的电路，一个或多个额外的弹性体层遵守多个形成规范。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性体层 大规模集成 触觉装置 制造工艺 流体 电路 衬底 固化 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：根据指定的制造工艺在衬底上形成大规模集成(LSI)装置的第一弹性体层，所述第一弹性体层至少具有多个基于流体的电路，所述第一弹性体层遵守多个形成规范；固化所述第一弹性体层；并且根据所述指定的制造工艺利用所述第一弹性体层形成所述LSI装置的一个或多个额外的弹性体层，所述一个或多个额外的弹性体层至少具有多个基于流体的电路，所述一个或多个额外的弹性体层遵守所述多个形成规范。
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