[发明专利]感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷布线板的制造方法在审
| 申请号： | 201680091251.2 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110023837A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 粂壮和;松村辽 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性元件(1)，其为具备支撑膜(10)和配置在支撑膜(10)上的感光层(20)的感光性元件(1)，其中，感光层(20)含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物和光聚合引发剂，支撑膜(10)的靠感光层(20)侧的主面(12)上的直径为2μm以上的缺陷的数目是每2mm2为30个以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性元件 感光层 支撑膜 光聚合性化合物 烯键式不饱和键 光聚合引发剂 粘合剂聚合物 印刷布线板 抗蚀图案 主面 配置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感光性元件，其为具备支撑膜和配置在该支撑膜上的感光层的感光性元件，其中，所述感光层含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物和光聚合引发剂，所述支撑膜的靠所述感光层侧的表面上的直径为2μm以上的缺陷的数目是每2mm2为30个以下。
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