[发明专利]气体产生装置

摘要

本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。

主权项

1.一种气体产生装置，具有多个气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有产生输出气体的气体产生器(43)，其特征在于，所述气体产生装置具有：多交流电源部(3001、3001C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，对所述多个气体产生器单元供给多个交流电压；以及气体控制部(3003、3003B、3003C)，在所述多个气体产生器单元之间共用，控制由所述多个气体产生器单元供给的原料气体以及由所述多个气体产生器单元产生的输出气体，所述气体控制部包括：多个质量流控制器即MFC(38a～38f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制输入对应的气体产生器单元的原料气体的流量即原料气体流量；多个自动压力控制器即APC(301a～301f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别控制对应的气体产生器单元的气体产生器内的压力即内部压力；以及多个气体浓度计(39a～39f)，与所述多个气体产生器单元对应而设置，分别检测对应的气体产生器单元的气体产生器输出的输出气体的浓度作为检测浓度，所述气体产生装置还具有执行针对所述多交流电源部的交流电力控制动作的交流电源控制部(3002、3002C)，所述交流电力控制动作包括对于所述多个交流电压，至少根据由对应的气体浓度计检测出的检测浓度控制对应的交流电压的电量的动作，所述多个气体产生器单元、所述多交流电源部、所述气体控制部及所述交流电源控制部被设置成一体。