[发明专利]像差校正器以及电子显微镜有效
| 申请号： | 201680091739.5 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110088872B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 中野朝则 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 金光华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了提供像差校正范围宽且容易控制并能够实现高精度的像差校正并且低成本的像差校正器，在使电子射线经过中心轴(201)的像差校正器中，具备：第一电流线群(101‑112)，在从中心轴起相隔R1的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第二电流线群(21‑32)，在从中心轴起相隔R2的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 以及 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜，具备：电子源；像差校正器，校正从电子源释放的电子射线的像差；以及电子光学系统，用于将所述电子射线照射到试样，所述电子显微镜的特征在于，所述像差校正器具备：开口，使所述电子射线经过中心轴；第一电流线群，在从所述中心轴起以第一半径相隔的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第二电流线群，在从所述中心轴起以长度比所述第一半径大的第二半径相隔的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场。
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