[发明专利]弹性装夹装置

摘要

一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，构成包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓，通过弹性固定块对放置于基片夹具内的基片进行固定，通过螺栓使盖板固定于基片夹具上。基片加工过程中会产生一定的尺寸误差，在镀膜过程中基片尺寸误差偏小、振动或温度降低会造成固定松动，使所镀薄膜性能下降，同时也会由于基片尺寸误差偏大、振动以及温度升高导致基片固定时应力过大，甚至出现卡片、崩边等现象，同样影响薄膜的性能。本发明使基片在夹具内固定不动，可消除镀膜时基片因尺寸误差、振动及升温产生的应力。该装置具有结构简单、造价低廉、寿命长、通用性强和使用方便的特点。

主权项

一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置，其特征在于包括基片夹具(1)、多个弹性固定块(3)、盖板(4)和螺栓(8)，所述的基片夹具(1)是一圆杯状空腔，该空腔的底中央是一镀膜孔(9)，在空腔的内壁具有均匀分布的三个以上弹簧孔(6)，腔壁的上端面具有一个以上螺孔(5)，所述的弹性固定块(3)由弹簧和固定块横向焊接构成，所述的固定块成方形，该固定块的下端面具有与待镀膜基片嵌设的吻合的缺口，所述的弹性固定块(3)通过弹簧置于所述的基片夹具(1)内壁弹簧孔(6)中，使所述的固定块的缺口朝下，所述的盖板(4)成圆形，周边具有与所述的基片夹具(1)的螺孔(5)相对应的螺孔(7)，所述的螺栓(8)旋入所述的盖板(4)的螺孔(7)和所述的基片夹具(1)的螺孔(5)，将所述的盖板(4)和所述的基片夹具(1)构成一体。