[发明专利]承载装置和涂胶设备有效
| 申请号： | 201710003213.3 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106647172B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 丁振勇;张万鹏;王鹏;关江兵;陈国;张振宇;龚磊;韩亚军;张孟磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述承载台上的基板移动，以将基板撑起，且所述滚珠能够沿所述基板表面滚动。相应地，本发明还提供一种涂胶设备。本发明的承载装置更便于对基板进行对位。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 涂胶 设备 | ||
【主权项】：
一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；其特征在于，至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述气体通道的顶部移动，以将所述承载台上的基板撑起，且撑起所述基板的滚珠能够在所述气体通道的顶部任意转动。
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