[发明专利]平面度检测治具及平面度检测方法有效

专利信息
申请号: 201710003417.7 申请日: 2017-01-04
公开(公告)号: CN106643446B 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 黄隆;蔡斯特;何红超 申请(专利权)人: 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G01B5/28 分类号: G01B5/28
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 230012 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供了一种平面度检测治具,包括:水平承载台;升降水平承载台的升降机构;设置于水平承载台上方的探针放置板,探针放置板上放置有呈阵列排布的多个探针,每一探针包括第一端和与第一端相对的第二端,多个探针能够在垂直于水平承载台的方向上移动,具有第一状态和第二状态,在第一状态,水平承载台处于第一位置,各探针的第一端与待检测件的待检测面不接触,多个探针的第一端处于同一平面内;在第二状态,水平承载台上升至第二位置,各探针的第一端与待检测件的待检测面相接触并上升预设高度;用于当多个探针在第二状态时,检测各探针的当前位置是否在预设位置上的检测机构。该治具的结构简单,操作简单,可提高准确度和检测效率。
搜索关键词: 平面 检测 方法
【主权项】:
一种平面度检测治具,其特征在于,包括:用于放置待检测件的水平承载台;与所述水平承载台连接,能够升降所述水平承载台的升降机构;设置于所述水平承载台的上方的探针放置板,所述探针放置板上放置有呈阵列排布的多个探针,每一探针包括用于与待检测件的待检测面接触的第一端和与所述第一端相对的第二端,所述多个探针能够在垂直于所述水平承载台的方向上移动,而具有第一状态和第二状态,其中,在所述第一状态,所述水平承载台处于第一位置,各探针的第一端与待检测件的待检测面不接触,且多个探针的第一端处于同一平面内;在所述第二状态,所述水平承载台上升至第二位置,各探针的第一端与所述待检测件的待检测面相接触并上升预设高度;以及,用于当所述多个探针在所述第二状态时,检测各探针的当前位置是否在预设位置上的检测机构。
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